Apparecchiature per la deposizione di vapore (ALD, CVD, PECVD)

I processi critici richiedono un feedback rapido e in tempo reale di diverse variabili di processo. Quando sono coinvolti diversi elementi di riscaldamento, l'utilizzo di trasduttori esterni per monitorare la corrente può richiedere uno spazio significativo sul pannello e un tempo di cablaggio significativo. NRG è una soluzione scalabile di relè a stato solido che funziona con un design a catena di bus. Ogni relè allo stato solido e/o contattore allo stato solido ha una misurazione integrata della corrente e della tensione, oltre ad altri parametri rilevanti. Tutti questi dati vengono scambiati in tempo reale con un controllore principale, NRGC, che rappresenta l'interfaccia principale con il PLC della macchina. Sono disponibili diversi protocolli, tra cui EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP e Profinet. La diagnostica intelligente, come la deviazione del carico, può anche evidenziare la deviazione del riscaldatore da un valore impostato, prevedendo così un possibile guasto del riscaldatore.

I regolatori proporzionali, noti anche come SCR, eliminano l'onere di convertire i segnali analogici dalle termocoppie in segnali digitali (PWM). Una corrente analogica (0 - 20 mA, 4 - 20 mA) o una tensione analogica (0 - 10 VDC) può essere immessa direttamente all'ingresso di controllo dell'RGC1P, RGC2P o RGC3P e la tensione di uscita al riscaldatore varierà proporzionalmente. Questo metodo di controllo consente di ottenere una strategia di controllo molto fine, che riduce al minimo i superamenti della temperatura.
Un'altra caratteristica della famiglia di prodotti RGC.P è la funzione soft start. L'avvio graduale è ideale per le applicazioni che utilizzano riscaldatori a infrarossi a onde corte (SWIR), in quanto riduce del >40% la corrente di spunto iniziale che si verifica quando i riscaldatori SWIR vengono accesi da uno stato freddo.

Le apparecchiature di deposizione hanno in genere una serie di elementi riscaldanti monofase. I contattori allo stato solido RGC hanno un design elegante e compatto per ridurre al minimo l'occupazione di spazio nel quadro elettrico.
La serie RGC è disponibile in due diverse configurazioni di terminali, vale a dire il "tipo E", che è una configurazione che imita quella di un contattore elettromeccanico e il "tipo U", che è anche indicato come configurazione a relè, poiché i terminali di carico si trovano sullo stesso lato del contattore allo stato solido. Il "tipo U" è talvolta preferito perché consente una migliore distribuzione dei cavi nel quadro.

La rottura del riscaldatore o la fuga termica, dovuta a un cortocircuito del riscaldatore, sono due problemi critici nella maggior parte dei processi termici. Un riscaldatore aperto provoca un calo di temperatura all'interno della zona, mentre un riscaldatore in cortocircuito provoca una zona di riscaldamento incontrollata che può causare difetti significativi ai wafer e costi elevati di scarto.
La serie di relè e contattori allo stato solido RGC1S integra il monitoraggio della corrente per rilevare il guasto del riscaldatore. Basato su una funzione di 'apprendimento', l'RGC1S confronta la corrente misurata con quella memorizzata durante la funzione di 'apprendimento' e controlla qualsiasi deviazione di corrente per un massimo di 6 riscaldatori collegati al relè.

I processi di deposizione possono anche richiedere elementi di riscaldamento con una potenza relativamente bassa (da 500W a 750W circa), richiedendo quindi una corrente di commutazione molto bassa. La serie di relè allo stato solido RP1A è progettata in un alloggiamento molto sottile (10,5 mm) e può essere montata direttamente su un PCB o, con l'accessorio opzionale, può essere montata anche su guida DIN, ottenendo una soluzione plug and play che occupa uno spazio minimo.

I processi di produzione dei wafer di silicio consumano una quantità considerevole di energia elettrica. Con un'attenzione sempre maggiore all'efficienza energetica, i contatori di energia sono sempre più integrati nelle apparecchiature per semiconduttori, per consentire il monitoraggio energetico dell'intera apparecchiatura.
I nostri misuratori per montaggio su guida DIN sono dotati sia di connessione esterna con trasformatore di corrente (CT) che di ingressi basati su connessione diretta. La gamma di misuratori per montaggio su guida DIN si caratterizza per le dimensioni compatte e la facilità d'uso. Sono disponibili contatori di energia sia monofase che trifase.

La serie WM di analizzatori di potenza ha un design modulare che consente agli utenti di selezionare le caratteristiche richieste aggiungendo uno o più moduli all'unità base WM. WM20, WM30 e WM40 possono essere installati in qualsiasi quadro elettrico per controllare il consumo energetico, le principali variabili elettriche e la distorsione armonica. I moduli plug-in includono moduli di comunicazione come Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Gli alimentatori switching sono un elemento cruciale per l'alimentazione della maggior parte dei componenti critici all'interno del quadro elettrico di qualsiasi apparecchiatura a semiconduttori.
La serie SPDC di alimentatori per montaggio su guida DIN offre una serie di caratteristiche uniche, come il design ultrasottile, il PFC integrato e l'efficienza fino al 96%.
Gli alimentatori switching possono lavorare su un'ampia gamma di tensioni di ingresso, mantenendo una tensione CC di uscita molto stabile, per assicurarsi che tutti i componenti critici come i PLC e gli HMI siano alimentati in modo sicuro.