气相沉积设备（ALD、CVD、PECVD）

关键过程需要对不同的过程变量进行快速实时反馈。当涉及多个加热元件时，使用外部传感器监控电流可能会占用大量面板空间和布线时间。NRG 是一种可扩展的固态继电器解决方案，采用总线链设计。每个固态继电器和/或固态接触器都内置电流和电压测量功能以及其他相关参数。所有这些数据都与主控制器 NRGC 实时交换，NRGC 是连接机器 PLC 的主要接口。可使用不同的协议，包括 EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP 和 Profinet。智能诊断功能（如负载偏差）还可以突出显示加热器与设定值的偏差，从而预测加热器可能出现的故障。

比例控制器（又称可控硅）可消除将热电偶模拟信号转换为数字（PWM）信号的负担。模拟电流（0 - 20 mA、4 - 20 mA）或模拟电压（0 - 10 VDC）可直接输入RGC1P、RGC2P 或 RGC3P的控制输入端，加热器的输出电压将按比例变化。这种控制方法可实现非常精细的控制策略，最大限度地减少温度过冲。
RGC.P 系列产品的另一个特点是软启动功能。软启动非常适合使用短波红外线加热器（SWIR）的应用，因为它可以将短波红外线加热器从冷态开启时产生的初始浪涌电流降低 40%。

沉积设备通常有一系列单相加热元件。RGC 固态接触器设计时尚紧凑，可最大限度地减少配电盘的空间占用。
RGC 系列有两种不同的端子配置，即 "E 型 "和 "U 型"。"E 型 "是模仿机电式接触器的配置，而 "U 型 "也被称为继电器配置，因为负载端子位于固态接触器的同一侧。U 型 "有时更受青睐，因为它可以在面板中更好地分布电缆。

加热器短路导致加热器断路或热失控是大多数热处理过程中的两个关键问题。加热器开路故障会导致区域内温度下降，而加热器短路故障则会导致加热区域失控，从而可能造成严重的晶片缺陷和高昂的报废成本。
RGC1S 固态继电器和接触器系列集成了电流监控功能，可检测加热器故障。基于 "示教 "功能，RGC1S 将测量到的电流与 "示教 "功能期间存储的电流进行比较，并检查与继电器连接的多达 6 个加热器的任何电流偏差。

沉积工艺还可能需要功率相对较低（约 500W 至 750W）的加热元件，因此需要非常低的开关电流。RP1A 系列固态继电器采用超薄外壳（10.5 毫米）设计，可直接安装在印刷电路板上，也可通过可选附件安装在 DIN 导轨上，是一种即插即用的解决方案，占用空间极小。

硅晶片生产过程需要消耗大量电能。随着对能效的日益关注，电能表越来越多地集成到半导体设备中，以实现对整个设备的能耗监控。
我们的DIN 导轨安装式电能表既有外部电流互感器 (CT) 连接，也有基于直接连接的输入。 DIN 导轨安装式电能表系列的特点是尺寸紧凑、使用方便。可提供单相和三相电能表。

WM 系列电能分析仪采用模块化设计，用户可通过在 WM 基本单元上添加一个或多个模块来选择所需的功能。WM20、WM30 和 WM40可安装在任何配电板上，用于控制能耗、主要电气变量和谐波失真。 插入式模块包括 Modbus RTU、Modbus TCP/IP 等通信模块。

开关电源是为半导体设备电气面板上大多数关键元件供电的关键部分。
SPDC 系列DIN 导轨安装式电源具有许多独特功能，如超薄设计、集成 PFC 和高达 96% 的效率。
开关电源可以在很宽的输入电压范围内工作，保持非常稳定的输出直流电压，确保 PLC 和人机界面等所有关键部件的安全供电。