Equipamento de deposição de vapor (ALD, CVD, PECVD)

Os processos críticos requerem um feedback rápido e em tempo real das diferentes variáveis do processo. Quando estão envolvidos vários elementos de aquecimento, a utilização de transdutores externos para monitorizar a corrente pode exigir um espaço significativo no painel e tempo de cablagem. O NRG é uma solução de relé de estado sólido escalável que funciona num design de cadeia de bus. Cada relé de estado sólido e/ou contactor de estado sólido tem uma medição de corrente e tensão incorporada, bem como outros parâmetros relevantes. Todos estes dados são trocados em tempo real com um controlador principal, NRGC, que é a interface principal para o PLC da máquina. Estão disponíveis diferentes protocolos, incluindo EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP e Profinet. Os diagnósticos inteligentes, como o desvio de carga, também podem destacar o desvio do aquecedor em relação a um valor definido, prevendo assim uma possível falha do aquecedor.

Os controladores proporcionais, também conhecidos como SCRs, eliminam o fardo da conversão de sinais analógicos de termopares em sinais digitais (PWM). Uma corrente analógica (0 - 20 mA, 4 - 20 mA) ou uma tensão analógica (0 - 10 VDC) pode ser alimentada diretamente à entrada de controlo do RGC1P, RGC2P ou RGC3P e a tensão de saída para o aquecedor variará proporcionalmente. Este método de controlo resulta numa estratégia de controlo muito fina que minimiza os excessos de temperatura.
Outra caraterística da família de produtos RGC.P é a função de arranque suave. O arranque suave é ideal para aplicações que utilizam aquecedores de infravermelhos de ondas curtas (SWIR), uma vez que reduz em >40% a corrente de arranque inicial que ocorre quando os aquecedores SWIR são ligados a partir de um estado frio.

O equipamento de deposição tem normalmente uma série de elementos de aquecimento monofásicos. Os contactores de estado sólido RGC são fornecidos com um design elegante e compacto para minimizar a ocupação de espaço no painel elétrico.
A série RGC é fornecida em duas configurações de terminais diferentes, nomeadamente "tipo E", que é a configuração que imita a de um contactor eletromecânico, e "tipo U", que também é referida como configuração de relé, uma vez que os terminais de carga estão do mesmo lado do contactor de estado sólido. O "tipo U" é por vezes preferido, uma vez que permite uma melhor distribuição dos cabos no painel.

Uma rutura do aquecedor ou uma fuga térmica, devido a um curto-circuito do aquecedor, são dois problemas críticos na maioria dos processos térmicos. Uma falha de um aquecedor aberto resultará numa queda de temperatura dentro da zona, enquanto que uma falha de um aquecedor em curto-circuito resultará numa zona de aquecimento descontrolada que pode resultar em defeitos significativos nas bolachas e em elevados custos de sucata.
A série de relés e contactores de estado sólido RGC1S integra a monitorização da corrente para detetar a falha do aquecedor. Com base numa função "teach", o RGC1S compara a corrente medida com a armazenada durante a função "teach" e verifica qualquer desvio de corrente para até 6 aquecedores ligados ao relé.

Os processos de deposição também podem exigir elementos de aquecimento com potência relativamente baixa (cerca de 500W a 750W), exigindo assim uma corrente de comutação muito baixa. A série RP1A de relés de estado sólido foi concebida numa caixa muito fina (10,5 mm) e pode ser montada diretamente numa placa de circuito impresso ou, com o acessório opcional, pode também ser montada em calha DIN, resultando numa solução "plug and play" que ocupa um espaço mínimo.

Os processos de produção de bolachas de silício consomem uma quantidade considerável de energia eléctrica. Com um enfoque cada vez maior na eficiência energética, os contadores de energia estão a ser cada vez mais integrados no equipamento de semicondutores para permitir a monitorização da energia de todo o equipamento.
A nossa gama de contadores para montagem em calha DIN inclui tanto a ligação externa do transformador de corrente (TC) como entradas baseadas em ligação direta. A gama de contadores para calha DIN caracteriza-se pelas suas dimensões compactas e facilidade de utilização. Estão disponíveis contadores de energia monofásicos e trifásicos.

A série WM de analisadores de potência tem um design modular que permite aos utilizadores selecionar as funcionalidades necessárias adicionando um ou mais módulos à unidade base WM. Os WM20, WM30 e WM40 podem ser instalados em qualquer quadro elétrico para controlar o consumo de energia, as principais variáveis eléctricas e a distorção harmónica. Os módulos plug-in incluem módulos de comunicação como o Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

As fontes de alimentação de modo de comutação são uma parte crucial na alimentação da maioria dos componentes críticos no painel elétrico de qualquer equipamento de semicondutores.
A série SPDC de fontes de alimentação para montagem em calha DIN oferece uma série de caraterísticas únicas, tais como um design ultrafino, PFC integrado e eficiências até 96%.
As fontes de alimentação em modo de comutação podem funcionar numa vasta gama de tensões de entrada, mantendo uma tensão CC de saída muito estável para garantir que todos os componentes críticos, como PLCs e HMIs, são alimentados em segurança.