Diffusionsöfen - GavazziAutomation
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Maschinen für die Halbleiterindustrie

Diffusionsöfen

Dreiphasige Heizungsschaltung mit Halbleiterschützen

Um eine präzise Temperatur in Öfen aufrechtzuerhalten, müssen die Heizelemente ständig ein- und ausgeschaltet werden. Diese hohe Schalthäufigkeit kann dazu führen, dass elektromechanische Schütze vorzeitig ausfallen, was zu hohen Wartungskosten und Maschinenstillstand führt.
RGC2A und RGC3A sind Halbleiterschütze, die für das Schalten von 3-Phasen-Heizelementen entwickelt wurden. Das RGC2A schaltet zwei Pole, während das RGC3A alle drei Pole schaltet und damit gewährleistet, dass alle Phasenströme vollständig ausgeglichen sind. RGC2A und RGC3A können sowohl mit einem PWM-Signal als auch mit einem AC-Steuersignal gesteuert werden und haben eine Reaktionszeit von einem Netzzyklus. Dank ihres Halbleiterdesigns ist die Lebensdauer von RGC2A und RGC3A deutlich höher, was zu geringeren Maschinenstillstandszeiten und einer Reduzierung der Wartungskosten führt.

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Schalttafelmontierte dreiphasige Halbleiterrelais zum Schalten von Heizungen

Ein weiteres häufig verwendetes Produkt in den Diffusionsöfen ist der RZ3A. Der RZ3A schaltet alle 3-Pole und hat ein flacheres mechanisches Design, wodurch er sich für Platten mit begrenzter Tiefe eignet.
Der RZ3A kann je nach den Betriebsbedingungen direkt auf einer Platte oder auf einem Kühlkörper montiert werden. Für die richtige Dimensionierung des Kühlkörpers hilft Ihnen unser Online-Kühlkörperauswahltool, die richtige Kühlkörpergröße für Ihre Anwendung zu finden.

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Feinere Heizungssteuerung mit Proportionalreglern (SCRs)

Proportionalregler, auch bekannt als SCRs oder Leistungsregler, bieten eine feinere Auflösung bei Heizungssteuerungsanwendungen, bei denen eine präzise Temperatur erforderlich ist.
Die Heizleistung kann direkt über einen analogen Eingang moduliert werden, der an die SCRs geleitet wird, und die Ausgangsspannung an der Heizung ändert sich proportional.
Unser Sortiment an Proportionalreglern umfasst sowohl Hockey-Pucks (RM1E) als auch 1-, 2- und 3-polige Versionen für die DIN-Schienenmontage (RGC1P, RGC2P und RGC3P).

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